埃微泰 I 半导体AOI_高精度显微光机系统
针对半导体 AOI 设备对分辨率、视野与稳定性的综合要求，我们构建了以 宽视场、⾼解析度与⾼⼀致性照明为核⼼的显微光机系统，通过模块化标 准设计，实现性能可复现、参数可验证、集成路径清晰，适⽤于量产型 AOI 设备的⻓期稳定运⾏。
模块化架构：按需集成宽视场与单像素级精度，标配科勒匀场照明。
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半导体 AOI高精度显微光机系统
模块化光机集成
按需定义的单像素精度
单像素精度匹配示意图
采用灵活的模块化光机架构，通过相机与镜头的精准匹配，实现解析能力的深度优化。
- 按需定制解析力：灵活配置成像组合，确保系统分辨率与像素尺寸最佳契合。
- 优化边缘清晰度：有效抑制边缘弥散，使图像边缘响应更趋近于单像素精度。
- 提升检测可靠性：为算法提供高质量特征输入，缺陷识别更稳定。
亚微米级解析
单像素精度
显微科勒照明优化
全域一致的照度均匀性
照度均匀性分析 (ImageJ宏)
针对大视场检测中的照度不均与眩光，提供精简科勒照明方案，为AOI算法构建稳固的成像底座。
- 视场均衡：结合多级聚焦与可调光阑，有效缓解边缘亮度衰减。
- 抑制眩光：降低金属/晶圆表面杂散光干扰，灰度值更稳定。
- 精准识别：提升亚微米级缺陷检测的鲁棒性与设备吞吐量。
均匀性偏差<3%
可调光阑NA
