反射式 | 科勒显微照明模组
精密宽场科勒匀场照明,模块式转角安装,适配多种光源规格。
在宽视场与高倍率检测场景下,传统同轴或临界照明常面临中心过亮、边缘衰减及高反射样品眩光等挑战。为此,我们对光学架构进行了深度优化。
核心优势
- 集成多级聚焦模块与可调光阑:通过精确调控光线在物镜光阑内的入射角度与光束分布,确保光线进入物镜后形成高均匀度的平行场
- 有效抑制边缘衰减与局部眩光:大幅提升全视野内的灰度稳定性
- 为图像算法提供全视野可量化的稳定数据:确保微米级缺陷特征识别的可靠性与高效性,满足量产验收标准
该照明模块延续模块化设计理念,可根据系统物镜NA匹配不同规格的光路调谐组件,支持按应用需求配置标准型、转角安装型及多光阑调节型,兼顾成像性能、结构适配性与系统集成灵活度。