显微偏振模块
在高反射材料、透明薄膜及具有方向性结构的样品检测中，普通明场成像往往容易受到镜面反射和杂散光干扰，导致图像对比度下降、缺陷特征不明显。
我们可在无限远成像光路中集成偏振模块，偏振器与检偏器可灵活调节偏振方向，有效抑制金属、玻璃、晶圆及透明基材表面的反射眩光，提升纹理、应力分布及表面微缺陷的成像对比度。
📌 应用集成案例
- 晶圆、SiC、蓝宝石等高反射材料表面检测
- FPD玻璃基板、ITO导电膜划伤与异物检测
- 塑料薄膜、偏光片、液晶器件纹理观察
- 应力双折射、材料内部应力分布分析
偏振规格
交叉放置的偏振模组透射特性
在可见光波段（400–700 nm）具备优异的偏振消光性能，交叉偏振透过率低至0.15%，光强抑制率约99.85%，有效提升偏振成像对比度。
DIC模块（微分干涉模块）
对于透明样品、低对比度结构以及微弱表面高度变化，传统明场成像往往难以清晰呈现细节。
我们的DIC模块通过集成诺马斯基棱镜与偏振光路，将样品的微小光程差转换为亮度差，实现类似三维浮雕效果的高对比度成像，显著增强微结构边界与表面形貌细节。
📌 应用集成案例
- 细胞、组织切片、微流控芯片观察
- 透明材料内部结构检测
- 晶圆微划痕、表面微凸起/凹陷检测
- MEMS微结构形貌增强观察
DIC成像原理示意图 - 同轴入射照明光线通过Wollaston棱镜产生光束A和光束B，经样品后产生光程差，形成高对比度图像
荧光/PL模块
针对材料发光特性分析及特定目标物识别，荧光成像模块可提供高灵敏度、高信噪比的光谱成像能力。
模块集成激发滤光片、二向色镜及发射滤光片组件，支持多波段荧光通道切换，可满足生命科学荧光观察及半导体材料光致发光（PL）检测需求。
📌 应用集成案例
- 细胞荧光标记、活细胞成像
- 半导体材料PL发光缺陷检测
- Si、SiC、GaN材料缺陷与应力分析
- 芯片封装材料荧光检测
我们的成像光路采用模块式的设计，方便用户在不同的光路位置中自由集成不同波段的单通道/多通道的荧光滤片模块。
荧光滤片模块集成示意图
荧光滤片模块集成示意图
物镜切换模块
在显微检测过程中，往往需要兼顾大视野定位与高倍率细节观察。物镜切换模块可实现不同倍率、不同波段物镜的快速切换，提高检测效率与系统兼容性。
支持手动或电动切换方式，可集成可见光、短波红外及长工作距离物镜，满足复杂检测场景下的多倍率成像需求。
📌 应用集成案例
- AOI自动检测多倍率切换
- 半导体晶圆宏观定位与微观缺陷复检
- 微流控全视野扫描与局部高倍观察
- SWIR透射与可见光复合检测
选件规格：如需具体规格、运动精度等集成信息，请联系技术支持
物镜切换模块结构示意图 - 支持多倍率物镜快速切换，提高检测效率
自动对焦模块
针对样品高度变化、在线高速检测及批量自动化成像场景，自动对焦模块可显著提升成像稳定性与检测效率。
支持液态透镜快速调焦、激光自动对焦及电动Z轴闭环控制，实现高精度实时焦面跟踪，确保长时间连续成像清晰稳定。
◆ 激光自动聚焦单元
TTL（Through The Lens - 与镜头共轴）的激光传感器单元，根据线性激光反馈，不断地感知和报告最佳聚焦距离，发送位置信号闭环驱动Z轴物镜快速、持续地到达焦点位置，实现真正实时、极速的自动对焦。
激光自动对焦结构示意
集成光机参考示意
液态聚焦单元
液态镜头模拟人体眼球水晶体睫状肌结构，将液体封装在一个透明的膜装置中，通过对液体施加不同的电压，改变液体的弯曲度，形成类似凸透镜/凹透镜的形状。在光路中增加这一结构，可在不改变相机/镜头位置的前提下，实现对高低、远近各个位置上不同目标区域的快速聚焦。
液态透镜工作原理 | 显微成像集成液态镜头案例